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发明名称 Aligning apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method
摘要
申请公布号 EP1574906(A3) 申请公布日期 2009.10.28
申请号 EP20050251254 申请日期 2005.03.02
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KORENAGA, NOBUSHIGE
分类号 G03F7/20;H01L21/68;H01L21/027;H02K9/19;H02K41/03;H02N15/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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