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发明名称
摘要
申请公布号 JP4355201(B2) 申请公布日期 2009.10.28
申请号 JP20030403240 申请日期 2003.12.02
申请人 发明人
分类号 C23F1/30;H01L21/308;C09K13/08;C11D7/18;C23F1/02;C23F1/16;C23F1/26;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3213;H01L21/44;H01L21/461 主分类号 C23F1/30
代理机构 代理人
主权项
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