| 发明名称 | 多晶硅棒的制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种多晶硅棒的制造方法，其中，在制造硅棒时，使用从通过CZ法或FZ法培育而成的单晶硅锭切出的硅部件(单晶硅棒)作为芯线。具体而言，从切去单晶硅锭(10)的肩部(10s)和尾部(10t)而得到的主体部(10b)切出平板状硅(11)，进而，切割成长条形而得到硅棒(芯线)(12)。在结晶生长轴方位为<100>的情况下，晶体性线(h1～h4)为四根，硅棒(芯线)(12)按照其面与晶体性线形成特定范围的偏角θ的方式切出。根据本发明，能够提供以现有方法无法得到的低杂质污染(高纯度)的多晶硅棒及单晶化效率高的FZ用多晶硅棒。 | ||
| 申请公布号 | CN101565185A | 申请公布日期 | 2009.10.28 |
| 申请号 | CN200910132968.9 | 申请日期 | 2009.04.03 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 水野亨彦;黑谷伸一;祢津茂义;小黑晓二 |
| 分类号 | C01B33/035(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/035(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 樊卫民;郭国清 |
| 主权项 | 1.一种多晶硅棒的制造方法，通过CVD法使硅析出到硅芯线上来制造多晶硅棒，其特征在于，使用从单晶硅锭切出的硅部件作为所述硅芯线。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||