| 摘要 |
1. Анод высокочастотного источника ионов, отличающийся тем, что на рабочую поверхность анода, выполненного из алюминиевого сплава, электроплазмохимически встроен диэлектрический слой. ! 2. Анод по п.1, отличающийся тем, что поверхность диэлектрического слоя состоит из оксида алюминия. ! 3. Анод по п.1, отличающийся тем, что толщина диэлектрического слоя не менее 100 мкм. |
