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发明名称 Method for coating DLCDiamond like carbon film with nitriding hardening on the vane of air compressor by low temperature PECVD
摘要
申请公布号 KR100923291(B1) 申请公布日期 2009.10.23
申请号 KR20070106251 申请日期 2007.10.22
申请人 发明人
分类号 C23C28/00 主分类号 C23C28/00
代理机构 代理人
主权项
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