发明名称 Verfahren zur Herstellung eines mit HDPCVD-Oxid gefüllten Isolationsgrabens
摘要
申请公布号 DE10127622(B4) 申请公布日期 2009.10.22
申请号 DE20011027622 申请日期 2001.06.07
申请人 QIMONDA AG 发明人 TRUEBY, ALEXANDER;WICH-GLASEN, ANDREAS;MOLL, HANS-PETER
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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