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发明名称 Plasma-Stromversorgung mit Schutzschaltung
摘要
申请公布号 DE60042938(D1) 申请公布日期 2009.10.22
申请号 DE20006042938 申请日期 2000.07.21
申请人 MKS INSTRUMENTS INC. 发明人 BENNETT, PAUL GEORGE
分类号 H05H1/46;H01J37/32;H02M1/12;H02M7/48;H02M7/493;H02M7/537;H02M7/538;H02M7/5387 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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