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发明名称 HERSTELLUNG EINES DÜNNEN FILMS UNTER ANWENDUNG VON DRUCK
摘要
申请公布号 DE60042929(D1) 申请公布日期 2009.10.22
申请号 DE2000642929 申请日期 2000.06.29
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 ASPAR, BERNARD;BRUEL, MICHEL;MORICEAU, HUBERT
分类号 H01L21/20;H01L27/12;H01L21/02;H01L21/762 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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