Mittels aerostatischer Lagerelemente geführter Tisch für Vakuumanwendung

摘要

Es wird ein mittels aerostatischer Lagerelemente geführter Tisch für Vakuumanwendung mit einer gestellfesten Tragstruktur und einer in x- und y-Richtung über Schlitten bezüglich der gestellfesten Tragstruktur verschiebbaren Tischplatte vorgeschlagen. Die Schlitten sind mit den aerostatischen Lagerelementen zur Führung versehen, die mit Zufuhrleitungen zum Zuführen und Absaugleitungen zum Abführen des zum Betrieb der Gaslager erforderlichen Gases verbunden sind. Die Absaugleitungen umfassen mindestens eine längen-veränderliche Leitungsanordnung, die ein erstes und ein zweites Rohrelement aufweist, die berührungslos ineinandertauchen, wobei zwischen den Rohrelementen mindestens ein Dichtspalt vorgesehen ist.