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发明名称 SUBSTRATHALTEEINRICHTUNG UND POLIERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE602005016602(D1) 申请公布日期 2009.10.22
申请号 DE20056016602T 申请日期 2005.12.06
申请人 EBARA CORP. 发明人 TOGAWA, TETSUJI;YOSHIDA, HIROSHI;NABEYA, OSAMU;FUKUSHIMA, MAKOTO;FUKAYA, KOICHI
分类号 B24B37/005;B24B37/04;B24B37/30;H01L21/304 主分类号 B24B37/005
代理机构 代理人
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