发明名称 基于可见光范围的半导体纳米线的光传感器及其制造方法
摘要 本发明涉及一种基于可见光范围的半导体纳米线的光传感器及其制造方法。基于半导体纳米线的光传感器包括:衬底,至少所述衬底的顶表面由绝缘体形成;两个电极,在衬底上以预定的间隔彼此间隔开;金属催化剂层,分别设置在两个电极上;以及可见光范围的半导体纳米线,从两个电极上的金属催化剂层生长出来。当分别从两个电极上的金属催化剂层生长的半导体纳米线在衬底上方的两个电极之间浮置时,从金属催化剂层中的一个生长的半导体纳米线与从另一个金属催化剂层生长的半导体纳米线接触。
申请公布号 CN101562209A 申请公布日期 2009.10.21
申请号 CN200910132105.1 申请日期 2009.04.17
申请人 韩国科学技术研究院 发明人 崔炅镇;朴宰宽;金东完;崔荣进;朴庆洙;朴宰焕;边在哲
分类号 H01L31/09(2006.01)I;H01L31/0256(2006.01)I;H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/02(2006.01)I;B82B1/00(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I 主分类号 H01L31/09(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 关兆辉;谢丽娜
主权项 1.一种基于半导体纳米线的光传感器,包括:衬底,具有由绝缘体形成的顶表面;两个电极,在所述衬底上以预定的间隔彼此间隔开;金属催化剂层,分别设置在所述两个电极上;以及多个可见光范围的半导体纳米线,从所述两个电极上的所述金属催化剂层生长出来,其中,在分别从所述两个电极上的所述金属催化剂层生长的所述可见光范围的半导体纳米线在所述衬底上方的所述两个电极之间被浮置时,从所述金属催化剂层中的一个生长出的所述可见光范围的半导体纳米线与从另一个所述金属催化剂层生长出的所述可见光范围的半导体纳米线接触。
地址 韩国首尔