发明名称 |
一种基于相变材料的透射电镜电学测量载网 |
摘要 |
本发明涉及一种透射电子显微镜样品载网,属于纳米材料测量领域。包括有支撑部分和电路部分,所述的支撑部分包括有金属环(1),所述的电路部分包括有两个电极(2)、待测元件和相变材料非晶薄膜(5),电极(2)与金属环(1)绝缘粘合,相变材料非晶薄膜(5)均匀分布在两电极(2)之间,相变材料薄膜(5)为非晶态,待测元件位于相变材料非晶薄膜(5)中或者集成在其中的一个电极(2)上。本发明中的连线具有可擦写的特点,通过电极两端加较高电压,或者直接对载网进行一定的激光脉冲辐照,使相变材料薄膜完全非晶化,使已经形成的电流通路消失实现了测量电路的可选择性,可反复擦写性。 |
申请公布号 |
CN100552864C |
申请公布日期 |
2009.10.21 |
申请号 |
CN200810056408.5 |
申请日期 |
2008.01.18 |
申请人 |
北京工业大学 |
发明人 |
张泽;王珂;刘攀;韩晓东 |
分类号 |
H01J37/20(2006.01)I;H01J37/26(2006.01)I;G01N23/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01J37/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京思海天达知识产权代理有限公司 |
代理人 |
张 慧 |
主权项 |
1、一种基于相变材料的透射电镜电学测量载网,其特征在于:包括有支撑部分和电路部分,所述的支撑部分包括有金属环(1),所述的电路部分包括有两个电极(2)、待测元件和相变材料非晶薄膜(5),电极(2)与金属环(1)绝缘粘合,相变材料非晶薄膜(5)均匀分布在两电极(2)之间,相变材料非晶薄膜(5)为非晶态,待测元件位于相变材料非晶薄膜(5)中或者集成在其中的一个电极(2)上;所述的相变材料非晶薄膜(5)在电子束或激光辐照下从非晶相相变为晶体相,并能够在高电压或电脉冲或激光照射下从晶体转变为非晶。 |
地址 |
100022北京市朝阳区平乐园100号 |