晶圆清洗设备之滚轮装置

摘要

一种晶圆清洗设备之滚轮装置，包含一个转轴单元，及多个彼此间隔地安装在该转轴单元外围的滚轮单元。该转轴单元包括一支呈长杆状的芯棒，及一个包覆结合在芯棒外围的轴套。每一滚轮单元包括一个套置在该轴套外围的轮体。藉由在上述轴套内埋藏有芯棒，可强化转轴单元之刚性及笔直度，避免发生弯挠的情况，故能提升输送制程之准确性及精密度。

主权项

一种晶圆清洗设备之滚轮装置，包含：一个转轴单元，包括一支呈长杆状的芯棒，及一个包覆结合在芯棒外围的轴套；及多个滚轮单元，是彼此间隔地安装在该转轴单元外围，每一个滚轮单元包括一个套置在该轴套外围的轮体。