一种铜铟硒基太阳能薄膜电池光吸收层均匀硒化装置

摘要

本实用新型公开一种铜铟硒基太阳能薄膜电池光吸收层均匀硒化装置，属太阳能电池材料领域。装置由硒化腔和上盖两部分组成，两部分均用石英加工而成，并通过磨口密封。样品放置于硒化腔内的石英隔板中心的样品窗口上，冷却颈和上盖石英壁上的小孔通过焊接连接，冷却颈和冷却管相接。本实用新型为单区加热硒化装置，能够提供充足的硒原子，其特点是，在样品窗口周围的多个平衡孔释放部分硒蒸气，使样品表面硒蒸气分布均匀，获得均匀硒化的太阳能薄膜电池光吸收层。本实用新型可与其它真空退火装置配合使用，不需要专用的抽气系统和加热系统，且硒化过程不需要通入载气，通用性强，结构简单，用于铜铟硒基太阳能薄膜电池光吸收层硒化工艺。

主权项

1.一种铜铟硒基太阳能薄膜电池光吸收层均匀硒化装置，其特征在于，所述铜铟硒锡基太阳能薄膜电池光吸收层均匀硒化装置由硒化腔和上盖两部分组成，硒化腔由硒化腔石英壁(8)，石英隔板(9)，石英舟(12)构成，石英隔板(9)放置在硒化腔石英壁(8)中部的内平台上，硒化腔石英壁(8)的底部为环形的石英舟(12)，石英隔板(9)中心开一个样品窗口(10)作为样品架，样品(7)在样品窗口(10)处放置于石英隔板(9)上，在样品窗口(10)周围有10～30个平衡孔(11)，硒化腔石英壁(8)上端外侧面为磨砂面，真空设备加热器置于石英舟(12)之下；上盖部分由上盖石英壁(13)、冷却颈(14)和冷却管(15)三部分组成，冷却颈(14)和上盖石英壁(13)上的小孔通过焊接连接，冷却颈(14)和冷却管(15)相接，上盖石英壁(13)开口端内侧面为磨砂面，冷却管(15)的另一端为真空抽气口(16)，与真空系统相接。