包括侦测器之储存盒、包括侦测器之晶圆储存盒、减少半导体晶圆上金属层腐蚀的方法及侦测晶圆储存盒中预先存在化学元素之方法

摘要

一种包括一侦测器之储存盒，以侦测储存盒中存在之化学元素，在一实施例中，储存盒中具有一空腔，以储放一具有一第一金属元素之物品，空腔系大体上密封，以和储存盒外之周围环境隔绝。一侦测器系位于密封之储存盒中，其中侦测器具有一第二金属元素，第二金属元素之标准电位系小于第一金属元素之标准电位，其中第二金属元素状态之改变可警示一作业员使其知道储存盒中存在有异常的化学元素。

主权项

一种包括一侦测器之储存盒，包括：一储存盒，其中该储存盒中具有一空腔，以储放一具有一第一金属元素之物品，该空腔系大体上密封，以和该储存盒外之周围环境隔绝；一侦测器，位于该密封之储存盒中，其中该侦测器具有一第二金属元素，该第二金属元素之标准电位系小于该第一金属元素之标准电位，其中该第二金属元素状态之改变可警示一作业员储存盒中存在有化学元素。