| 发明名称 | 板状部件的输送装置及板状部件的输送方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其在输送路径的中途，可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。输送装置(10)具有：飘浮单元(20)，其沿玻璃基板(11)的输送方向排列多个使玻璃基板(11)飘浮的飘浮部件(21)；输送单元(30)，其在玻璃基板(11)利用飘浮单元(20)从飘浮部件(21)飘浮的状态下，保持玻璃基板(11)，同时沿输送方向向下游侧输送玻璃基板(11)；以及处理部(40)，其在输送单元(30)中的输送路径的中途，对玻璃基板(11)进行曝光处理。在与处理部(40)相对应的区域内，设置作为表面平坦度提高单元的横置飘浮部件(43)。 | ||
| 申请公布号 | CN101562123A | 申请公布日期 | 2009.10.21 |
| 申请号 | CN200810144454.0 | 申请日期 | 2008.07.31 |
| 申请人 | 东丽工程株式会社 | 发明人 | 谷川央树;尾崎充佳;森诚树 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I;B65G51/03(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 何立波;张天舒 |
| 主权项 | 1.一种板状部件的输送装置，其具有：飘浮单元，其沿前述板状部件的输送方向，平行地排列多个飘浮部件，该飘浮部件通过从多个喷射口向上方喷射气体而使板状部件飘浮；输送单元，其在前述板状部件利用前述飘浮单元从前述飘浮部件飘浮的状态下，保持前述板状部件，同时沿前述输送方向，向下游侧输送前述板状部件；以及处理部，其在前述输送单元的输送路径的中途，对前述板状部件进行要求表面平坦度的处理，其特征在于，在前述飘浮单元的与前述处理部相对应的区域，设置前述板状部件的表面平坦度提高单元。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||