发明名称 TAPERED WAVEGUIDE PHOTODETECTOR APPARATUS AND METHODS
摘要
申请公布号 EP1525500(B1) 申请公布日期 2009.10.21
申请号 EP20030765942 申请日期 2003.07.23
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 ZHENG, JUN-FEI;DAVIDS, PAUL
分类号 G02B6/122;G02B6/12;G02B6/42;H01L31/0232 主分类号 G02B6/122
代理机构 代理人
主权项
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