发明名称 |
TAPERED WAVEGUIDE PHOTODETECTOR APPARATUS AND METHODS |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1525500(B1) |
申请公布日期 |
2009.10.21 |
申请号 |
EP20030765942 |
申请日期 |
2003.07.23 |
申请人 |
INTEL CORPORATION |
发明人 |
ZHENG, JUN-FEI;DAVIDS, PAUL |
分类号 |
G02B6/122;G02B6/12;G02B6/42;H01L31/0232 |
主分类号 |
G02B6/122 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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