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发明名称 SURFACE ROUGHENING PROCESS
摘要
申请公布号 EP2109583(A1) 申请公布日期 2009.10.21
申请号 EP20080702248 申请日期 2008.01.10
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES S.A. 发明人 ASPAR, BERNARD;LAGAHE BLANCHARD, CHRYSTELLE;SOUSBIE, NICOLAS
分类号 B81C1/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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