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发明名称
Measuring method and apparatus
摘要
申请公布号
EP0449582(B1)
申请公布日期
2009.10.21
申请号
EP19910302636
申请日期
1991.03.26
申请人
CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人
NOSE, NORIYUKI;SAITOH, KENJI;SENTOKU, KOICHI;YOSHII, MINORU
分类号
G03F9/00;G03F7/20
主分类号
G03F9/00
代理机构
代理人
主权项
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