多重光束微机械系统及方法

摘要

本发明揭示一种用于传递能量至基板的系统及方法，其包括一用于提供复数个辐射光束的可动态引导之辐射能量源，每一辐射光束均在动态可选择方向上传播。复数个光束操纵元件中的复数个独立可定位光束操纵元件接收光束并将其引导至基板上的可选择之位置。复数个雷射光束聚焦模组与复数个光束操纵元件相关联，来将每一光束聚焦至该基板之上。

主权项

一种用于传递雷射能量至一工件之设备，其包含：提供至少一雷射光束之至少一雷射能量源；复数个雷射光束操纵模组，其排列成用于可选择地操纵该至少一雷射光束至一目标之上的可选择之位置；及复数个雷射光束聚焦光学模组，其与该等雷射光束操纵模组相关联，用于将一雷射光束聚焦至该工件上。