薄膜感应器

摘要

一种微机械式感测器以及一种制造微机械式感测器的方法，该感测器具有至少一膜。在此，该膜由第一种材料制成，使该膜设在一第二种材料中，以感测围绕着它的介质。该膜至少部分地利用第三种材料在膜缘易受损坏的位置补强，藉着将膜缘补强，使该膜与感测器的稳定性以及使用寿命提高。

主权项

一种微机械式感测器，具有至少一膜(1)，其中该膜：--至少由第一种材料制成，且--受一股所要感测的介质作用，且--至少在其边缘被一种包围该膜的第二种材料夹入，其中该膜边缘在受到所要感测之介质作用的那一侧至少部分地利用由导电路(2)(3)构成的一盖层补强，以对抗由于所要感测的介质造成的负荷，该盖层由一第三种材料构成，其中该膜(1)具有由第三种材料制的构造(6)(9)(10)，该构造(6)(9)(10)延长超出该膜边缘之外，其特征在：该盖层至少构成该电阻构造的一部分。