导电性金属氧化物薄膜之除去方法及装置

摘要

提供一种连端部之导电性金属氧化物薄膜也能除去之方法及装置。对向于基材11表面之导电性金属氧化物薄膜12，将正电极13及第1负电极14以未与其接触的方式并列配置。在正电极13与第1负电极14间，沿导电性金属氧化物薄膜12之宽度方向将复数个第2负电极17以与其接触的方式并列配置。使电解液15介在电极13、14、17与导电性金属氧化物薄膜12之间，以这种状态对电极13、14、17施加电压。以导电性金属氧化物薄膜12先通过负电极14、17再通过正电极13的方式，使电极13、14、17与基材11产生相对移动。依据本发明，能以不产生擦痕及应力变形的方式，使得连端部之导电性金属氧化物薄膜也能高效率除去，而能谋求高价功能性玻璃基板等之再生利用。

主权项

一种导电性金属氧化物薄膜之除去方法，其特征在于：对向于基材表面之导电性金属氧化物薄膜，将正电极及第1负电极以未与其接触的方式并列配置；在第1负电极之前段或后段、或是前段及后段，沿导电性金属氧化物薄膜之宽度方向将复数个第2负电极以与其接触的方式并列配置后；使电解液介在正电极、第1、第2负电极与导电性金属氧化物薄膜之间，以这种状态对正电极、第1、第2负电极施加电压；以导电性金属氧化物薄膜先通过第1、第2负电极再通过正电极的方式，使正电极、第1、第2负电极与基材表面之导电性金属氧化物薄膜产生相对移动，藉此利用还原反应除去基材表面之导电性金属氧化物薄膜。