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发明名称
摘要
申请公布号 JP4347855(B2) 申请公布日期 2009.10.21
申请号 JP20060036223 申请日期 2006.02.14
申请人 发明人
分类号 C23C16/42;H01L21/285 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
主权项
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