具有两层结构的测辐射热红外传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种具有两层结构的测辐射热红外传感器及其制造方法，其通过分光镜设计来共振吸收红外线从而提高吸收率，并且防止了由于发热产生的应力导致的传感器变形。所述包括ROIC衬底和多个象素的红外传感器包括：位于所述ROIC衬底上的包括反射金属层的底层；位于所述底层上方用于共振吸收红外线的空腔；具有夹层形的上层，所述夹层包括在其中间具有切口区域的吸收—传输层和位于所述吸收—传输层上方和下方的测辐射热计层；以及设置在所述象素的边缘用于支撑所述上层并用作电极的固定件。

主权项

1、一种包括读取集成电路衬底和多个象素的红外传感器，所述象素包括：位于读取集成电路衬底上的第一缓冲层；位于所述第一缓冲层上的包括反射金属层的底层；位于所述底层上方用于共振吸收红外线的空腔；上层，该上层包括位于所述空腔上方的第一绝缘层、位于所述第一绝缘层上的第二缓冲层，位于所述第二缓冲层上的测辐射热计层、位于所述测辐射热计层上的第二绝缘层和位于所述第二绝缘层上的吸收-传输层；以及用于支撑所述上层的位于所述读取集成电路衬底上的至少一对固定件。