| 发明名称 | 静电吸附载台热循环液流量监测装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种静电吸附载台热循环液流量监测装置，包括静电吸附载台本体和多个流量传感器，还包括设置在静电吸附载台热循环液的管路中，测量静电吸附载台热循环液流量的电子流量计，所述电子流量计的输出反馈信号线连接到一个继电器的控制端，所述继电器的开关一端连接至所述流量传感器的报警信号输入端，所述流量传感器连接有故障报警电路。本发明通过在静电吸附载台热循环液的管路中设置电子流量计，实现了在生产过程中对静电吸附载台的热循环液流量进行监测，避免了由于静电吸附载台的热循环液流量的监测而对反应腔的温度造成影响，从而导致正常的生产工作无法进行，使的生产过程中可以随时监测静电吸附载台的热循环液流量，提高了工作效率。 | ||
| 申请公布号 | CN100552875C | 申请公布日期 | 2009.10.21 |
| 申请号 | CN200610147329.6 | 申请日期 | 2006.12.15 |
| 申请人 | 上海华虹NEC电子有限公司 | 发明人 | 谢伟皓;王炜 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;G01F1/56(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 顾继光 |
| 主权项 | 1.一种静电吸附载台热循环液流量监测装置，包括静电吸附载台本体和多个流量传感器，其特征在于，还包括设置在静电吸附载台热循环液的管路中，测量静电吸附载台热循环液流量的电子流量计，所述电子流量计的输出反馈信号线连接到一个继电器的控制端，所述继电器的开关一端连接至所述流量传感器的报警信号输入端，所述流量传感器连接有故障报警电路。 | ||
| 地址 | 201206上海市浦东新区川桥路1188号 | ||