发明名称 |
可动态变更测试流程的测试方法 |
摘要 |
本发明是有关于一种可动态变更测试流程的测试方法,可以对测试条件不同且测试流程不同的产品进行多点测试,用于测试一晶圆,该方法包括以下步骤:决定该晶圆每一坐标的晶粒的测试流程;以一多点测试执行测试;根据多点测试的各接触点的坐标,执行测试流程;以及产生测试结果与分类。本发明在同一晶圆上,可以测试多种测试条件与测试程序都不相同的晶粒、可以同时烧录多种只读记忆体码于同一片晶圆上、可以动态新增一测试步骤于原测试流程中,非常适于实用。 |
申请公布号 |
CN101561474A |
申请公布日期 |
2009.10.21 |
申请号 |
CN200810090449.6 |
申请日期 |
2008.04.14 |
申请人 |
京元电子股份有限公司 |
发明人 |
王宪旌;杨世礼 |
分类号 |
G01R31/26(2006.01)I;G01B21/00(2006.01)I;B07C5/344(2006.01)I |
主分类号 |
G01R31/26(2006.01)I |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
寿 宁;张华辉 |
主权项 |
1、一种可动态变更测试流程的测试方法,用于测试一晶圆,其特征在于该方法包括以下步骤:决定该晶圆每一座标的晶粒的测试流程;以一多点测试(multi-site)执行测试;根据多点测试的各接触点的座标,执行测试流程;以及产生测试结果与分类。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |