发明名称 可动态变更测试流程的测试方法
摘要 本发明是有关于一种可动态变更测试流程的测试方法,可以对测试条件不同且测试流程不同的产品进行多点测试,用于测试一晶圆,该方法包括以下步骤:决定该晶圆每一坐标的晶粒的测试流程;以一多点测试执行测试;根据多点测试的各接触点的坐标,执行测试流程;以及产生测试结果与分类。本发明在同一晶圆上,可以测试多种测试条件与测试程序都不相同的晶粒、可以同时烧录多种只读记忆体码于同一片晶圆上、可以动态新增一测试步骤于原测试流程中,非常适于实用。
申请公布号 CN101561474A 申请公布日期 2009.10.21
申请号 CN200810090449.6 申请日期 2008.04.14
申请人 京元电子股份有限公司 发明人 王宪旌;杨世礼
分类号 G01R31/26(2006.01)I;G01B21/00(2006.01)I;B07C5/344(2006.01)I 主分类号 G01R31/26(2006.01)I
代理机构 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人 寿 宁;张华辉
主权项 1、一种可动态变更测试流程的测试方法,用于测试一晶圆,其特征在于该方法包括以下步骤:决定该晶圆每一座标的晶粒的测试流程;以一多点测试(multi-site)执行测试;根据多点测试的各接触点的座标,执行测试流程;以及产生测试结果与分类。
地址 中国台湾新竹市