| 发明名称 |
SYSTEM AND METHOD FOR CONTROLLING INTENSITY OF A BEAM OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN ELLIPSOMETERS AN POLARIMETERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2109758(A1) |
申请公布日期 |
2009.10.21 |
| 申请号 |
EP20080726833 |
申请日期 |
2008.03.14 |
| 申请人 |
J.A. WOOLLAM CO. INC. |
发明人 |
PFEIFFER. GALEN L.;LIPHARDT, MARTIN M. |
| 分类号 |
G01J3/10;G01J3/447;G01J4/00;G01N21/21 |
主分类号 |
G01J3/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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