挡板，包含挡板的组合物体，以及将一成分涂到基板上的方法

摘要

提供了新型挡板以及使用这些挡板的方法。该挡板包括具有边壁的板身，该边壁被构造成将成分的流动导向基板(例如，硅晶片)边缘。边壁包括垂直表面(38)、与垂直表面相耦合的弯曲侧壁(42)以及与弯曲侧壁相耦合的唇边(40)。一种优选的挡板是环形的并由合成树脂成分构成。更为优选地，该挡板不由金属构成。本发明的方法包括在旋涂过程期间靠近基板定位上述挡板，由此边壁就引起该成分覆盖基板边缘并优选地覆盖该基板背侧的一部分。

主权项

1.一种用于在将一成分涂到具有边缘的基板上期间影响所述成分的流动的挡板，其特征在于，所述挡板包括具有边壁的板身，所述边壁被构造成将所述成分导向围绕所述基板边缘流动并将所述成分的流动导向所述基板背面，所述板身的边壁包括：垂直表面；与所述垂直表面相耦合的弯曲侧壁；以及与所述弯曲侧壁相耦合的唇边，所述挡板包含合成树脂成分，所述弯曲侧壁与所述基板边缘间隔一定距离，用于引导所述成分围绕并接触所述基板边缘，并且将所述成分引导至所述基板的背面。