校准装置和校准装置的原点返回方法、包括校准装置的转动台板、平移台板、机械以及机械控制系统

摘要

提供了一种旋转台板的校准装置，其通过平移驱动能够在XYθ、Yθ、或θ精确地操作台板。用于驱动安装有目标物(5)的台板(4)的4件驱动系统包括平移自由度部分(11)、平移驱动部分(12)、以及旋转自由度部分(13)，此外，通过在机械固定装置(41)处提供电机(1)和检测装置(2)，由机械固定装置(41)使用第一定位装置及第二定位装置、和第一位置固定装置及第二位置固定装置精确地固定台板(4)，并且将检测装置参考位置存储在检测装置参考位置存储装置(44)处，使校准装置能够返回到原点。

主权项

1.一种用于通过布置在机械底座部分处的驱动机构在XYθ、Yθ、或θ操作安装有目标物的台板将目标物定位到预定位置的校准装置，所述校准装置包括：所述驱动机构，包括多个驱动机构单元，所述多个驱动机构单元各自由机械部分和电机控制装置构成；所述机械部分包括各自具有平移自由度的两个平移自由度部分和具有旋转自由度的一个旋转自由度部分；以及所述电机控制装置包括电机、检测装置和控制器，所述电机用于驱动所述两个平移自由度部分和所述一个旋转自由度部分的自由度部分，所述检测装置用于检测构成要检测部件的机械部分的操作量，以及所述控制器用于通过接收操作指令控制所述电机，从而构成至少与所述台板的XYθ、Yθ、或θ操作的自由度的数量相等的数量的所述电机；所述驱动机构单元包括用于将操作指令提供给所述控制器的指令装置；所述台板，通过在平移方向或旋转方向上分别操作所述电机，从而所述台板被操作以在XYθ操作的两个方向上平移移动和旋转移动、在Yθ操作的一个方向上平移移动和旋转移动、或者θ操作的旋转移动；机械原点存储装置，用于预先存储或输入在机械原点位置与固定基准位置之间的差值；机械固定装置，用于将所述台板或所述驱动机构机械固定到所述校准装置的所述固定基准位置；机械固定基准位置存储装置，用于通过所述检测装置检测和存储至少与提供给所述台板的自由度的数量相等的数量的机械固定基准位置；检测装置参考位置存储装置，用于放开所述机械固定装置，通过驱动至少与提供给所述台板的自由度的数量相等的数量的电机，由所述检测装置检测至少与提供给所述台板的自由度的数量相等的数量的检测装置参考位置基准，以及存储所述检测装置参考位置与所述机械原点位置或至少与提供给所述台板的自由度的数量相等的数量的所述固定基准位置之间的差值；以及机械原点返回量计算装置，用于在已经完成了上述处理并且再次引入电源之后所述机械固定装置表现不正常的状态中，通过驱动至少与提供给所述台板的自由度的数量相等的数量的所述电机，来检测至少与提供给所述台板的自由度的数量相等的数量的所述检测装置参考位置基准，以及为了使所述台板和所述驱动机构单元从当前位置设置到所述机械原点或所述固定基准位置，计算至少与提供给所述台板的自由度的数量相等的数量的所述电机的移动量，其中通过操作至少与提供给所述台板的自由度的数量相等的数量的所述电机，将所述台板和所述驱动机构单元移动到所述机械原点位置。