一种超大功率半导体列阵外腔形变补偿量全量获取技术

摘要

本发明提供了一种超大功率半导体列阵中，克服外腔形变影响锁相质量，为避免降低锁相质量而补偿形变所需补偿量获取技术。与CCD1相关的一路测量外腔形变的子系统利用反射镜R2.1、反射镜3、变焦光学器件1、透镜1，聚焦经外腔反射的一半He-Ne激光束成像于CCD1上，由处理器1计算光斑质心、以及计算标定后的变化量，从而获取外腔镜一个方向的形变信息，并在其达到门限时，通过半量补偿量获取法获知补偿量，然后再配合相应D/A、相应高压驱动模块，驱动安装在外腔镜末端位置的相应压电补偿器PZT膨胀，补偿，从而适时补偿β在一个方向的漂移，适时补偿由残余热效应等引起的外腔镜随机形变，使得采用倾斜匹配角度的外腔镜锁相的超大功率二维半导体列阵稳定地震荡于同相模，保障列阵稳定输出的高质量。

主权项

1、一种服务于超大功率半导体列阵选择同相模运行的稳定性控制的外腔形变补偿量获取方法，其特征在于：依靠构建两路探测补偿子系统，通过全量补偿量获取法获知补偿量，1/4talbot外腔镜在慢轴方向的倾斜角度为β，且β＝λ/2d，上式中λ为工作中心波长，d为慢轴列阵周期，所述两路探测补偿子系统包括He-Ne激光器，匹配扩束镜，分光镜，倾斜β＝λ/2d的外腔镜，第一反射镜，第二反射镜，第三反射镜，第一变焦光学器件，第二变焦光学器件，第一透镜，第二透镜，第一电荷耦合器件，第二电荷耦合器件，第一处理器，第二处理器，第一数模转换器，第二数模转换器，第一高压驱动模块，第二高压驱动模块，第一反射镜上的压电补偿器以及第二反射镜上的压电补偿器，由He-Ne激光器发出的激光，经匹配扩束镜扩束，再由分光镜反射，投射到所述外腔镜反射面上，经外腔镜反射的He-Ne激光束穿透分光镜后，射向第一反射镜和第二反射镜，经第一反射镜和第二反射镜反射后射向第三反射镜，经第三反射镜反射；而后，对应第一反射镜的那部分He-Ne激光束经第一变焦光学器件调节，以匹配第一透镜，成像于第一电荷耦合器件上，由此构成第一路探测补偿子系统；对应第二反射镜的那部分He-Ne激光束经第二变焦光学器件调节，以匹配第二透镜，成像于第二电荷耦合器件上，由此构成第二路探测补偿子系统；经第一处理器处理，获知成像于第一电荷耦合器件上激光束的光斑质心，标定后，在锁相列阵运行时，实时感测此光斑质心的变化，获取与上述变化对应的校正斜率，再通过运行全量补偿量获取法，获取补偿相应外腔形变所需补偿量，再配合第一数模转换器、第一高压驱动模块，经第一高压驱动模块按第一反射镜上的压电补偿器所需驱动电压值驱动第一反射镜上的压电补偿器膨胀，补偿外腔镜倾斜角β在对应第一路探测补偿子系统方向上的漂移，与上述补偿操作同时进行如下操作，经第二处理器处理，获知成像于第二电荷耦合器件上激光束光斑质心标定及由外腔形变引起的质心变化量，获取与该变化量对应的校正斜率，再通过运行全量补偿量获取法，获取补偿相应外腔形变所需补偿量，再配合第二数模转换器、第二高压驱动模块，经第二高压驱动模块按第二反射镜上的压电补偿器所需驱动电压值驱动第二反射镜上的压电补偿器膨胀，使外腔镜倾斜角β在另外一个方向的形变得到补偿。