曝光装置、曝光方法及元件制造方法

摘要

本发明的曝光装置具备：供应用以充满曝光用光的光路空间(K1)的液体的液体供应装置，与配置于曝光位置的基板表面相对向、且围住曝光用光的光路空间(K1)的第1岛面(75)，以及配置在第1岛面(75)外侧的第2岛面(76)。第1岛面(75)能将液体保持在与基板表面之间。第2岛面(76)设置成不会与和基板表面之间存在的液体的膜接触。据此，在一边移动基板一边进行曝光时，也能将曝光用光的光路空间以液体充满成期望状态。

主权项

1.一种曝光装置，其对基板上照射曝光用光来使所述基板曝光，其特征在于，所述曝光装置具备：液体供应装置，其为了将所述曝光用光的光路空间以液体加以充满而供应液体；第1面，其以和配置在所述曝光用光可照射位置的物体表面相对向、且围着所述曝光用光的光路空间的方式设置，能将所述液体供应装置供应的液体保持在与所述物体之间；以及第2面，其以和所述物体表面相对向、且相对所述曝光用光的光路空间配置在所述第1面的外侧，所述第2面被设置成所述物体表面与所述第2面之间存在的液体膜不会与所述第2面接触；且所述第2面较所述第1面还离开所述物体表面。