发明名称 氮化镓半导体元件和发光二极管
摘要 本发明披露了一种氮化镓半导体元件和发光二极管。在一基板上形成有一富含金属的氮化物薄膜,随后在富含金属的氮化物薄膜上形成有一缓冲层以及一半导体叠层;其中,富含金属的氮化物薄膜仅覆盖基板的部分上表面。通过富含金属的氮化物薄膜为非晶结构的特性,使得缓冲层外延成长方向由向上成长转变为水平成长,使缓冲层中的晶格位错亦随着外延成长方向弯曲,由此降低位错延伸至半导体叠层的几率,以提高氮化镓半导体元件的可靠度。
申请公布号 CN101562156A 申请公布日期 2009.10.21
申请号 CN200810092628.3 申请日期 2008.04.16
申请人 晶元光电股份有限公司 发明人 林义杰;郭政达;许育宾;蔡吉明
分类号 H01L23/00(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I 主分类号 H01L23/00(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波
主权项 1、一种氮化镓半导体元件,至少包含:一基板;一富含金属的氮化物薄膜,位于该基板上;一第一缓冲层,位于该富含金属的氮化物薄膜上;以及一半导体叠层,位于该缓冲层上,其中该富含金属的氮化物薄膜仅覆盖该基板的部分上表面。
地址 中国台湾新竹市