发明名称 |
氮化镓半导体元件和发光二极管 |
摘要 |
本发明披露了一种氮化镓半导体元件和发光二极管。在一基板上形成有一富含金属的氮化物薄膜,随后在富含金属的氮化物薄膜上形成有一缓冲层以及一半导体叠层;其中,富含金属的氮化物薄膜仅覆盖基板的部分上表面。通过富含金属的氮化物薄膜为非晶结构的特性,使得缓冲层外延成长方向由向上成长转变为水平成长,使缓冲层中的晶格位错亦随着外延成长方向弯曲,由此降低位错延伸至半导体叠层的几率,以提高氮化镓半导体元件的可靠度。 |
申请公布号 |
CN101562156A |
申请公布日期 |
2009.10.21 |
申请号 |
CN200810092628.3 |
申请日期 |
2008.04.16 |
申请人 |
晶元光电股份有限公司 |
发明人 |
林义杰;郭政达;许育宾;蔡吉明 |
分类号 |
H01L23/00(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波 |
主权项 |
1、一种氮化镓半导体元件,至少包含:一基板;一富含金属的氮化物薄膜,位于该基板上;一第一缓冲层,位于该富含金属的氮化物薄膜上;以及一半导体叠层,位于该缓冲层上,其中该富含金属的氮化物薄膜仅覆盖该基板的部分上表面。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |