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发明名称 METHOD OF FABRICATION OF HIGHLY HEAT DISSIPATIVE SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP2109883(A1) 申请公布日期 2009.10.21
申请号 EP20070734269 申请日期 2007.02.08
申请人 S.O.I. TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 KONONCHUK, OLEG;LETERTRE, FABRICE;LANGER, ROBERT
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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