| 发明名称 | 悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构 | ||
| 摘要 | 涉及一种采用悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构。设有基座、悬臂梁、控制电极、驱动电极、检测电极和挡板；悬臂梁由前后不同截面的两段组成，宽截面的后段梁的一端接基座，驱动电极设于窄截面的前段梁的两侧；控制电极与检测电极设于后段梁的下方，在前段梁两侧的驱动电极中嵌入至少一对挡板，挡板与驱动电极之间无接触。灵敏度和精确度高、结构紧凑，具有自保护功能。 | ||
| 申请公布号 | CN100552383C | 申请公布日期 | 2009.10.21 |
| 申请号 | CN200310124163.2 | 申请日期 | 2003.12.12 |
| 申请人 | 厦门大学 | 发明人 | 孙道恒;王明亮;李文望;刘益芳;郑剑铭 |
| 分类号 | G01C19/56(2006.01)I;G01C19/00(2006.01)I | 主分类号 | G01C19/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人 | 马应森 |
| 主权项 | 1、悬臂式微机械隧道陀螺仪的换能机构，其特征在于设有基座、悬臂梁、控制电极、驱动电极、检测电极和挡板；悬臂梁由前后不同截面的两段组成，宽截面的后段梁的一端接基座，驱动电极设于窄截面的前段梁的两侧；控制电极与检测电极设于后段梁的下方，在前段梁两侧的驱动电极中嵌入至少一对挡板，挡板与驱动电极之间无接触，所述的挡板凸出驱动电极上表面。 | ||
| 地址 | 361005福建省厦门市思明南路422号 | ||