发明名称
摘要
申请公布号 JP4348584(B2) 申请公布日期 2009.10.21
申请号 JP20000041660 申请日期 2000.02.18
申请人 发明人
分类号 B30B15/00;B30B15/34;B30B1/42;H01L21/603 主分类号 B30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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