晶片测试分类机

摘要

一种晶片测试分类机，包含设于机台前端之供料匣、收料匣及空匣，该供料匣系可承置待测之晶片以供取料，收料匣系可承置完测之晶片用以收料，空匣则可接收供料匣处之空料盘或补充收料匣处所需之空料盘，另于机台后端设有复数个具测试器、探针卡及定位治具之测试装置，用以执行晶片测试作业，一移载装置系移载于供料匣、收料匣及测试装置间，用以移载待测及完测之晶片，以及于供料匣、收料匣及空匣间自动化移载及补充空料盘；藉此，利用各装置之时序搭配作动，而可于各晶片完成切割后执行测试作业，并立即依测试结果迅速分类收置，达到确保测试品质，并有效提升作业便利性及产能之使用效益。

主权项

一种晶片测试分类机，包含：供料匣：系承置有待测之晶片；收料匣：系接收承置完测之晶片；测试装置：系设有测试器及探针卡，并于对应探针卡位置处设有载台机构，该载台机构系以载台架置于滑轨上，而可由驱动源驱动作Y方向之位移，于载台上并装设有台座，该台座上则装设有用以承置晶片之治具，该治具系可由驱动源驱动作Z方向升降，使治具上之晶片可与探针卡接触；移载装置：系设有取放器，用以移载待测及完测之晶片；中央处理器：系用以控制及整合各装置作动，以执行自动化作业。