用于彩色滤光片工艺的光掩模

摘要

本发明公开了一种用于彩色滤光片工艺的光掩模，所述光掩模包括相互对称设置的第一对位记号以及第二对位记号，第一与第二对位记号各具有多个不同的图形，但第一与第二对位记号的多个图形相互对应，且该相互对应的图形关于光掩模的参考对称中心，具有实质上不对称的距离，从而当光掩模在同一平面上，以旋转180度的方式倒置时，因相同的位置将对应不同的图形，故得以辨认出光掩模以错误方向摆置，利于即时更正，不会继续进行错误的工艺。

主权项

1、一种用于彩色滤光片工艺的光掩模，包括：参考对称轴，具有对称中心；第一对位记号及第二对位记号，关于所述参考对称轴及所述对称中心，相互对称；其中：所述第一对位记号具有多个不同的第一图形；以及所述第二对位记号具有多个不同的第二图形，所述多个第二图形与所述多个第一图形相同；各所述第一图形与其对应相同的第二图形，关于所述参考对称中心，具有不对称的距离。