用于物料控制系统介面之方法与装置

摘要

本发明提供用于管理在电子元件制造设备中之处理工具间移动小批次的方法及装置。在一些具体实施例中，会决定将处理之优先批次的数目，且在一处理工具之基材载入站处保留相等数目的承载件储存位置。藉由处理及转递占用的非优先批次及/或自该基材载入站移动未处理之占用非优先批次，使该数目的已保留承载件储存位置可用。接着将优先批次转移至已保留承载件储存位置。本发明提供其他具体实施例。

主权项

一种用于物料控制系统介面的方法，该方法至少包含：决定将处理之优先批次的数目；在一处理工具的一基材载入站处保留一数目之承载件储存位置，其中该等承载件储存位置的数目系根据该等优先批次之数目来决定；使该数目的已保留承载件储存位置为可用；及转移该优先批次至该等已保留的承载件储存位置，其中决定将处理的优先批次之数目的步骤包括接收一信号，其代表该等将处理之优先批次的该数目。