| 发明名称 | 电子级高纯甲基磺酸的合成 | ||
| 摘要 | 电子级高纯甲基磺酸的合成。甲基磺酸是微电子行业芯片集成电路的封装后处理电镀工序的主剂。本发明是以二甲基二硫为原料用过氧化氢一步氧化成甲基磺酸。工艺简单，节能，无三废，是绿色环保型工艺。 | ||
| 申请公布号 | CN101560173A | 申请公布日期 | 2009.10.21 |
| 申请号 | CN200810052794.0 | 申请日期 | 2008.04.18 |
| 申请人 | 天津市康沃特科技有限公司 | 发明人 | 张文仲 |
| 分类号 | C07C309/04(2006.01)I;C07C303/16(2006.01)I | 主分类号 | C07C309/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 1、二甲基二硫在甲基磺酸水溶液中，经强搅拌生成乳浊液，再滴入过氧化氢进行氧化，经浓缩后配制所需浓度的甲基磺酸产品。 | ||
| 地址 | 300384天津市华苑产业园区物华道8号凯发大厦A座522室 | ||