发明名称 半导体结构
摘要 本发明是有关于一种半导体结构,其包括:一半导体基材;一第一高电压掺杂井区,位于该半导体基材上,具有一第一电性;一第二高电压掺杂井区,位于该半导体基材上,具有与该第一电性相反的一第二电性,并横向地邻接该第一高电压掺杂井区;一栅介电层,从该第一高电压掺杂井区上方延伸至该第二高电压掺杂井区上方;一栅极,位于该栅介电层上方;一漏极区,位于该第二高电压掺杂井区之中;一源极区,位于该栅介电层的一侧,与该漏极区反向相对;及一深掺杂p型井区,位于该第二高电压掺杂井区下方,具有该第一电性,其中该深掺杂p型井区实质上并未直接地形成在该漏极区的正下方。本发明可降低源极-漏极之间的开启状态电阻值,增进开启状态的驱动电流。
申请公布号 CN101562195A 申请公布日期 2009.10.21
申请号 CN200810212304.9 申请日期 2008.09.05
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 姚智文;蒋柏煜;蔡俊琳;黄宗义
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 主分类号 H01L29/78(2006.01)I
代理机构 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人 寿 宁;张华辉
主权项 1、一种半导体结构,其特征在于其包括:一半导体基材;一第一高电压掺杂井区,位于该半导体基材上,且具有一第一电性;一第二高电压掺杂井区,位于该半导体基材上,且具有与该第一电性相反的一第二电性,并横向地邻接该第一高电压掺杂井区;一栅介电层,从该第一高电压掺杂井区上方延伸至该第二高电压掺杂井区上方;一栅极,位于该栅介电层上方;一漏极区,位于该第二高电压掺杂井区之中;一源极区,位于该栅介电层的一侧,且与该漏极区反向相对;以及一深掺杂p型井区,位于该第二高电压掺杂井区下方,且具有该第一电性,其中该深掺杂p型井区实质上并未直接地形成在该漏极区的正下方。
地址 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号