发明名称 | 灵敏度增加的热传感器 | ||
摘要 | 本发明提供了一种热传感器,具有第一(1120,1125)和第二温度感应元件,每个都形成在第一衬底(110)中的热隔离台(1100)上。 | ||
申请公布号 | CN101563590A | 申请公布日期 | 2009.10.21 |
申请号 | CN200780046811.3 | 申请日期 | 2007.10.17 |
申请人 | 模拟装置公司 | 发明人 | 埃蒙·海因斯;威廉·莱恩;科林·格拉尔德·莱登 |
分类号 | G01J5/06(2006.01)I;G01J5/10(2006.01)I;G01J5/08(2006.01)I;G01J5/24(2006.01)I | 主分类号 | G01J5/06(2006.01)I |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王 萍;李春晖 |
主权项 | 1、一种制造在半导体衬底上的电路,该电路包括热辐射敏感的第一和第二电子元件,每个电子元件提供对电路的总输出有作用的输出,其中所述电子元件共同位于与第一衬底热隔离的第一区域上。 | ||
地址 | 美国马萨诸塞州 |