发明名称 灵敏度增加的热传感器
摘要 本发明提供了一种热传感器,具有第一(1120,1125)和第二温度感应元件,每个都形成在第一衬底(110)中的热隔离台(1100)上。
申请公布号 CN101563590A 申请公布日期 2009.10.21
申请号 CN200780046811.3 申请日期 2007.10.17
申请人 模拟装置公司 发明人 埃蒙·海因斯;威廉·莱恩;科林·格拉尔德·莱登
分类号 G01J5/06(2006.01)I;G01J5/10(2006.01)I;G01J5/08(2006.01)I;G01J5/24(2006.01)I 主分类号 G01J5/06(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 王 萍;李春晖
主权项 1、一种制造在半导体衬底上的电路,该电路包括热辐射敏感的第一和第二电子元件,每个电子元件提供对电路的总输出有作用的输出,其中所述电子元件共同位于与第一衬底热隔离的第一区域上。
地址 美国马萨诸塞州