非接触式处理套件

摘要

本发明提供一种适用于物理气相沉积处理室的处理套件、以及具有非接触式处理套件的物理气相沉积处理室。在一实施例中，处理套件包括大致柱形的遮蔽件，其具有大致平坦的柱形本体、由该本体向下延伸的至少一个细长柱形环、以及由该本体的上表面向上延伸的安装部。在另一实施例中，处理套件包括大致柱形的沉积环。该沉积环包括大致平坦的柱形本体、向下延伸耦接至该本体外部的至少一个U形通道、由该本体内部区域的上表面向上延伸的内壁、以及由该内壁径向向内延伸的衬底支撑突出部。

主权项

1.一种处理套件，其至少包括：大致柱形的遮蔽件，其至少包括：大致平坦的柱形本体，具有上表面，其向下向内端逐渐变细；至少一个细长的柱形环，由该本体向下延伸；以及安装部，由该本体的外壁的本体的上表面向上延伸，该安装部具有径向向外延伸超过该本体的外壁的安装凸缘、由该本体上表面延伸的内壁、以及由该内壁沿径向向外且向上张开的内锥形部。