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发明名称
摘要
申请公布号	JP4347028(B2)	申请公布日期	2009.10.21
申请号	JP20030401050	申请日期	2003.12.01
申请人		发明人
分类号	G01B11/30;G01N21/84;G01N21/88;G02F1/13;H01J9/02;H01J11/20;H01J11/22;H01J11/34	主分类号	G01B11/30
代理机构		代理人
主权项
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