| 发明名称 | 液体材料的填充方法及装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种装置构成的自由度高、无需进行复杂控制即可提供适当量液体材料的液体材料的填充方法及装置。本发明的液体材料的填充方法及其装置，是利用毛细管现象在衬底与其上所保持的工件的空隙填充从吐出部吐出的液体材料的方法；其特征在于包括：提供步骤，从吐出部向工件的边缘部提供液体材料；拍摄步骤，通过拍摄组件，对假定所述提供步骤中所提供的液体材料通过毛细管现象而渗出的区域的工件的边缘部的图像进行拍摄；判定步骤，根据所拍摄的图像，检测工件的边缘部是否存在液体材料，由此判定液体材料是否填充于衬底与工件的整个空隙；以及补充步骤，在判定为不良的情况，从吐出部向所述工件的边缘部提供液体材料。 | ||
| 申请公布号 | CN101563764A | 申请公布日期 | 2009.10.21 |
| 申请号 | CN200780043546.3 | 申请日期 | 2007.11.26 |
| 申请人 | 武藏工业株式会社 | 发明人 | 生岛和正 |
| 分类号 | H01L21/56(2006.01)I;B05D1/00(2006.01)I;B05D3/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 | 代理人 | 程 伟 |
| 主权项 | 1、一种液体材料的填充方法，是利用毛细管现象，在衬底与其上所保持的工件的空隙填充从吐出部吐出的液体材料的方法，其特征在于，包括：提供步骤，从吐出部向工件的边缘部提供液体材料；拍摄步骤，通过拍摄组件，对假定所述提供步骤中所提供的液体材料通过毛细管现象而渗出的区域的工件边缘部的图像进行拍摄；判定步骤，根据所拍摄的图像，检测工件的边缘部是否存在液体材料，由此判定液体材料是否填充于衬底与工件之间的整个空隙；以及补充步骤，在判定为不良的情况下，从吐出部向所述工件的边缘部提供液体材料。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||