调整机构及其调整方法与晶片制造方法

摘要

一种调整机构及其调整方法与晶片制造方法。调整机构用以调整一晶舟于一炉管内与炉管平行设置。炉管具有一容置槽及一开口，容置槽具有一第一对称中心线，晶舟具有一第二对称中心线。当晶舟经由开口插入容置槽时，容置槽的槽壁与晶舟的侧面之间具有一第一间隙区域。调整机构包括一调整工装用具及一调整组件。调整工装用具以可插拔的方式设置于开口处，并具有一宽部、一窄部及一贯孔。贯孔贯穿宽部及窄部，窄部用以塞住开口，使宽部暴露于开口外。当晶舟贯穿贯孔及开口而进入容置槽时，贯孔于窄部处的孔壁与晶舟的侧面之间具有一第二间隙区域，第二间隙区域小于第一间隙区域。调整组件用以根据第二间隙区域，调整第一对称中心线及第二对称中心线相互平行。

主权项

1.一种调整机构，用以调整一晶舟于一炉管内与该炉管平行设置，该炉管具有一容置槽及一开口，该容置槽具有一第一对称中心线，该晶舟具有一第二对称中心线，当该晶舟经由该开口插入该容置槽时，该容置槽的槽壁与该晶舟的侧面之间具有一第一间隙区域，该调整机构包括：一调整工装用具，以可插拔的方式设置于该开口处，并具有一宽部、一窄部及一贯孔，该贯孔贯穿该宽部及该窄部，该窄部用以塞住该开口，使该宽部暴露于该开口外，当该晶舟贯穿该贯孔及该开口而进入该容置槽时，该贯孔于该窄部处的孔壁与该晶舟的侧面之间具有一第二间隙区域，该第二间隙区域小于该第一间隙区域；以及一调整组件，用以根据该第二间隙区域，调整该第一对称中心线及该第二对称中心线相互平行。