| 申请人 |
AMTEC ANWENDUNGSZENTRUM FUER MIKROTECHNOLOGIEN CHEMNITZ GESELLSCHAFT MIT BESCHRAENKTER HAFTUNG;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE |
发明人 |
MIRODATOS, CLAUDE;SCHUURMAN, YVES;HAYAUD, CHRYSTELLE;HOLZWARTH, ARNOLD;FARUSSENG, DAVID;RICHTER, THOMAS |
