SENSOR ARRANGEMENT

摘要

Die Erfindung betrifft eine Sensoranordnung zur Detektion von elektromagnetischer Strahlung, deren Wellenlänge im oder nahe am Infrarotbereich liegt, mit wenigstens einer Messkammer (2), die mit einem die zu messende Strahlung selektiv absorbierenden Fluid befüllbar ist, wobei die Messkammer (2) eine durch ein Fenster (3) verschlossene Eintrittsöffnung für die Strahlung aufweist und ein Teil der Messkammerwandung als flexible Membran (M) derart ausgebildet ist, dass sie bei einer Volumenänderung des in der Messkammer (2) enthaltenen Fluids aufgrund der Absorption der eintretenden Strahlung verformt wird, und wobei der Membran (M) eine Messeinrichtung zugeordnet ist um die Verformung zu erfassen, welche dadurch gekennzeichnet ist, dass zumindest auf der der Messkammer (2) gegenüberliegenden Seite der Membran (M) eine Druckentlastungskammer (7) gebildet ist, welche mit der Messkammer (2) in Fluidverbindung steht.