SYSTEME ZUR INSPEKTION STRUKTURIERTER ODER UNSTRUKTURIERTER WAFER UND ANDERER PROBEN,申请号AT20040754334T-传众专利搜索

发明名称	SYSTEME ZUR INSPEKTION STRUKTURIERTER ODER UNSTRUKTURIERTER WAFER UND ANDERER PROBEN
摘要
申请公布号	AT445152(T)	申请公布日期	2009.10.15
申请号	AT20040754334T	申请日期	2004.06.04
申请人	KLA-TENCOR CORPORATION	发明人	BEVIS, CHRISTOPHER;KIRK, MIKE;VAEZ-IRAVANI, MEHDI
分类号	G01N21/95;G01N21/47;G01N21/94	主分类号	G01N21/95
代理机构		代理人
主权项
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