MICROMECHANICAL ACTUATOR STRUCTURE AND CORRESPONDING ACTUATION METHOD

摘要

Die Erfindung schafft eine mikromechanische Aktuatorstruktur und ein entsprechendes Betätigungsverfahren. Die Aktuatorstruktur umfasst mindestens eine erste Biegefederemrichtung (BF1; BF1'), welche beidseitig an einer Halterung (10a, 10b) angebracht ist; ein zu bewegendes mikromechanisches Bauelement (6, 7a, 7b, S), welches an der ersten Biegefederemrichtung (BF1; BF1') befestigt ist; eine erste Elektrodenstruktur (R1'), welche an der ersten Biegefederemrichtung (BF1; BF1') befestigt ist; und eine zweite Elektrodenstruktur (F'), durch welche die erste Elektrodenstruktur (R1') auslenkbar ist.