发明名称 ÜBERTRAGUNG EINER DÜNNEN SCHICHT VON EINER SCHEIBE MIT EINER PUFFERSCHICHT
摘要
申请公布号 AT443344(T) 申请公布日期 2009.10.15
申请号 AT20030762850T 申请日期 2003.07.09
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 GHYSELEN, BRUNO;AULNETTE, CECILE;OSTERNAUD, BENEDICTE
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/20;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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